受益于半導體、顯示面板等下游需求的增長以及相關政策的推動，我國電子特氣行業(yè)不斷發(fā)展壯大，市場規(guī)模持續(xù)擴容，這也使得對特氣的純度要求越來越高。氦放電離子化檢測器DID氣相色譜儀配以特定的氣路系統(tǒng)，在特氣分析方面將會顯現(xiàn)出越來越大的性，為電子特氣的發(fā)展提供精準的數(shù)據(jù)支持。

DID檢測器屬于通用型(除了載氣氦氣He外，對任何氣體均有響應)且靈敏的檢測器，檢測范圍可從十億分之一(ppb)到2%，廣泛應用于ppb級別痕量氣體的分析。以下為大家簡單講解一下它的工作原理：

DID檢測器工作原理：

DID的主體由上下兩個小膛所構成，并由一狹窄小開口連接上下二膛。 一連串分離但相關連的反應都發(fā)生于此，并形成氣相色譜圖。

上膛是放電的區(qū)域，超高純度的氦氣充滿其中，內有一對相距甚近的球與針狀電極，電極兩端施以525VDC的高壓電，便于電極周遭形成了氦氣的環(huán)狀放電，環(huán)狀放電的產物。

下膛是分析物的檢測區(qū)域，稱為離子化膛。環(huán)狀放電的產物經過連接上下二膛的開口，流到檢測器極化板，作為分析物被離子化的原子或分子的檢測媒介。

經過色譜柱后，載氣(氦氣)及已被分離的樣品，陸續(xù)進入并橫越過檢測器極化板。樣品分子及從上膛流下之，經由非彈性碰撞后離子化分析物。所形成的陰陽離子，則被檢測器極化板的極化區(qū)所收集，并形成電流。電流與樣氣里面的分析物濃度成正比，從而得到對應的色譜圖。

由于DID的電離能量可以達到穩(wěn)定的24.8eV，因此可以電離包括Ne、Kr、Xe在內的稀有氣體